室内王
教育
- 学士学位:电气工程，哈尔滨船舶工程学院，1978年
- 硕士:杭州大学物理系，1981
- 博士:物理学纽约州立大学布法罗分校，1987年
专业/兴趣领域
- 主要研究方向为薄膜涂层. 涂装设备包括. ion-assisted electron-beam deposition; 2. pulsed DC, DC and RF sputtering; and 3. 射频等离子体气溶胶雾沉积. 薄膜材料包括氧化物和氮化物. 衬底材料有单晶、陶瓷和玻璃. 基材的形状可以是扁平的、圆柱形的和线状的.
研究、出版物、 & 演讲
研究 & 出版物
- 离子辅助电子束沉积氧化膜.
- 氮化膜的脉冲直流溅射.
- 射频等离子气溶胶雾沉积氧化物.